2月2日，ASML将于2024年4月庆祝其40周年。作为半导体行业的领先供应商，总部位于荷兰费尔德霍芬的公司以长期为芯片制造商提供硬件、软件和服务，以大规模生产集成电路（芯片）而闻名于世。

近日，ASML公布了2023年的年度业绩：净销售额为276亿欧元，毛利率为51.3%，净利润为78亿欧元。与此同时，公司预计2024年的净销售额将与2023年基本持平。ASML预计2024年第一季度净销售额将在50亿至55亿欧元之间，毛利率约为48%至49%。ASML在行业中的领先地位，再次证明了其卓越的业绩和市场影响力。那么，ASML作为光刻技术的巨头，如何在微观世界中保持稳定的发展呢？

“铁三角”是ASML的无间合力，是微观世界的“品控师”

当一艘船或一架满载ASML的飞机驶向世界各地的晶圆厂时，它不仅代表了一种设备，也代表了ASML在核心环节促进“铁三角”（即光刻机、计算光刻、光学和电子束测量）密切合作的象征。ASML全景光刻解决方案在芯片制造过程中起着至关重要的作用，帮助芯片制造商生产更小、更强大、更智能的芯片。

ASML的光刻机以其精湛的技术而闻名于光刻技术。它准确地将芯片制造所需的电路图案投射到晶圆上，而光刻在这一过程中起着决定性的作用。一个更生动的描述是:“在中国，每台ASML光刻机每年曝光的晶圆平均数量接近200万片。如果连接起来，长度相当于5条黄浦江，叠加起来相当于3座东方明珠塔。”

ASML电子束测量技术在确保芯片制造过程中的准确性方面发挥着关键作用。具有高分辨率、高视觉优势，可以更准确地扫描晶圆，收集数据，然后将数据反馈给光刻机，从而完成高质量的测量和检查。

在“铁三角”中，计算光刻软件是另一种无形的责任，除了光刻机和电子束测量。光刻软件通过其独特的数学物理模型，能够准确模拟光刻过程中的物理化学过程。在各种复杂条件下，它可以探索高质量的光刻解决方案，为后续的光刻行为提供强有力的指导。具体情况下，客户采用ASML计算光刻产品后，优化了自由形式的成像光源和匹配的掩模地图，增强了关键图形和易缺陷图形的成像，使工艺窗口增加了30%以上！

几十年来，集成电路制造技术发展迅速，微观世界不断迎来科技革命。在此过程中，ASML的技术变革始终坚持促进芯片微缩、提高良率和生产能力的目标。“铁三角”全景光刻解决方案为此过程提供了重要的支撑。以“晶圆成像专家”光刻机为主要起点；辅以计算光刻和测量两大技术深度介入制造环节；并作为“质量控制器”准确保持质量水平。三者无间合力，为整个产业的发展打造了坚实的基石！

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