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金天弘科技(北京)有限公司完成了万分级高精度MEMS谐振式压力芯片和传感器的研制,为新一代军事装备和先进工业领域实现全国产自主可控和升级换代提供核心关键芯片产品。 高精度MEMS谐振式压力传感器涉及电子、机械、材料、热学、力学、化学等多学科的复杂交互融合,涵盖基础理论、设计、工艺制程、封装测试、设备装备等多个产业链环节。 金天弘科技首席研发负责人朱博士介绍:万分级高精度MEMS谐振式压力传感器主要技术指标比传统应变式、压阻式、电容式等原理的压力传感器高1~2个数量级,且具有数字化输出、抗干扰、
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